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產(chǎn)品中心

Product Center

離子去膠機(jī)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

離子去膠機(jī) 型號(hào):PR-3

通過(guò)等離子體方法,對(duì)陶瓷片、硅片等襯底材料圖形上的光刻膠進(jìn)行干法去除。設(shè)備為單室真空系統(tǒng),主要由真空系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、電氣系統(tǒng)、射頻電源系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、報(bào)警系統(tǒng)等部分組成。

產(chǎn)品型號(hào):PR-3
更新時(shí)間:2024-02-26
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問(wèn)量:1519
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品牌其他品牌產(chǎn)地類別國(guó)產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域石油

離子去膠機(jī) 型號(hào):PR-3

離子去膠機(jī) 

通過(guò)等離子體方法,對(duì)陶瓷片、硅片等襯底材料圖形上的光刻膠進(jìn)行干法去除。設(shè)備為單室真空系統(tǒng),主要由真空系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、電氣系統(tǒng)、射頻電源系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、報(bào)警系統(tǒng)等部分組成。 
射頻電源采用RF500W電源控制。 
氣路系統(tǒng)采用兩臺(tái)浮子流量計(jì)控制氣體進(jìn)氣。
  腔室結(jié)構(gòu):臥式、純石英
  真空室規(guī)格:F210´300mm
  限真空:1Pa(環(huán)境濕度≤55%)
  真空系統(tǒng):機(jī)械泵
  大裝片直徑: F4英寸
   大裝片容量:4英寸 25片/爐
  去膠速率: ~500A/min
  去膠不均勻性:≤±5% (φ4吋范圍內(nèi))
  操作方式:手動(dòng)方式
用戶可選配全自動(dòng)控制方式

通過(guò)等離子體方法,對(duì)陶瓷片、硅片等襯底材料圖形上的光刻膠進(jìn)行干法去除。設(shè)備為單室真空系統(tǒng),主要由真空系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、電氣系統(tǒng)、射頻電源系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、報(bào)警系統(tǒng)等部分組成。 
射頻電源采用RF500W電源控制。 
氣路系統(tǒng)采用兩臺(tái)浮子流量計(jì)控制氣體進(jìn)氣。
  腔室結(jié)構(gòu):臥式、純石英
  真空室規(guī)格:F210´300mm
  限真空:1Pa(環(huán)境濕度≤55%)
  真空系統(tǒng):機(jī)械泵
  大裝片直徑: F4英寸
   大裝片容量:4英寸 25片/爐
  去膠速率: ~500A/min
  去膠不均勻性:≤±5% (φ4吋范圍內(nèi))
  操作方式:手動(dòng)方式
用戶可選配全自動(dòng)控制方式

 

產(chǎn)品名稱:電子皂膜流量計(jì)
產(chǎn)品型號(hào):BL100

電子皂膜流量計(jì) 型號(hào):BL100

應(yīng)用領(lǐng)域:于任何氣體或液體流量的檢測(cè),廣泛應(yīng)用于各類實(shí)驗(yàn)室氣體流量的校準(zhǔn),包括大氣采樣器的流量校準(zhǔn)、粉塵采樣器的流量校準(zhǔn),玻璃轉(zhuǎn)子流量計(jì)的校準(zhǔn),以及各類色譜儀的流量測(cè)定。
 
產(chǎn)品描述:
BL系列電子皂膜流量計(jì)通過(guò)其內(nèi)部的電路控制單元與敏感元件相結(jié)合來(lái)測(cè)量氣體流量,其精度大大優(yōu)于用眼與手掐秒表測(cè)定氣體流量的做法,是取代手持式皂膜管加秒表的Z佳選擇。該系列電子皂膜流量計(jì)液晶顯示,具有溫度、壓力、容積的校正功能,用戶通過(guò)現(xiàn)場(chǎng)自我校正,可得出被測(cè)氣體的體積流量,可單次測(cè)定氣體流量,也可以對(duì)流量測(cè)定十次后取平均值。
技術(shù)參數(shù):
Ø 測(cè)量范圍:0.1mL~100mL/min 
Ø 測(cè)量精度:△Q﹤±1%。
Ø 測(cè)量方式:濕式 
Ø 時(shí)間范圍:0.1~1200.0s(內(nèi)部計(jì)算精確到0.01秒)。
Ø 內(nèi)裝標(biāo)稱值為8.4V、1200mA/h的充電電池,充滿電后待機(jī)時(shí)間﹥300小時(shí)。
充電次數(shù)﹥500次。
Ø 使用環(huán)境:0~45℃;0~70%RH(無(wú)結(jié)露)
Ø 重量:約950 g

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